关于无尘擦拭布布的尘粒、离子、ESD测试方法

无尘布的测试方法

用户主要通过擦拭布的材料、吸收率、清洁度和成本来评价无尘布。在半导体工业的洁净室中，对尘埃粒子、离子、静电放电等有很高的要求。无尘抹布。IEST-RP-CC004.3提供了一些评估无尘布的方法。 

无尘布应经过严格测试，以满足性能要求和污染控制标准。通常，无尘布应进行如下测试: 
 

▲ 抗磨损性测试

一般来说，耐磨性试验属于布料的物理性能试验。但是，在无尘布的测试中，磨损过程中会产生尘粒，所以将无尘布的耐磨性测试降低到污染控制范围更合适。
*测试标准:耐磨性越强，产生尘粒的可能性就越小。      
                                                            

▲ 基重

根据ASTM-D-3776测试无尘布单位面积的重量

*参考测试标准：一般要求在150－300g/m2
 

▲ 吸液量和吸液速度

根据IEST-RP-CC004.3第8节要求，需测试无尘布的吸收量和吸收速率。

吸液量反映的是单位面积的无尘布的吸收液体的毫升数。

吸液速率是指无尘布吸收10ml液体所需的时间。

以上两种测量都须测量三次并计算平均值。

*参考测试标准：吸液量一般不小于400g/m2，吸液速度一般不大于1秒。
 

▲ IC测试

根据IEST-RP-CC004.3第7.2节要求，定性定量地测量无机阴阳离子含量。

*参考测试标准，在磁头行业，一般要求CL-≤0.03ug/cm2; SO42-≤0.03ug/cm2; NO3-≤0.03ugcm2; Total:＜1.0ug/cm2
 

▲ NVR测试

根据IEST-RP-CC004.3第7.1节要求,测试单位面积上的不挥发性残留物。

NVR测试是将无尘布浸泡于一定量的溶剂中一定量的时间，然后将无尘布取出，测试溶于溶剂中的不挥发性残留物的质量。

*参考测试标准：在磁头行业，一般要求＜3.0ug/cm2
 

▲ LPC测试

根据IEST-RP-CC004.3第6.2.1节的要求，对无尘布进行LPC测试。

LPC可测试无尘布上的液态尘粒数。

LPC测试是将无尘布浸泡在一定量的DI水中，经过超声波振荡，检测DI水中的尘粒浓度。

*参考测试标准：在磁头行业，一般要求＜30counts/cm2
 

▲ FTIR测试

傅立叶变化红外光谱测试

*参考测试标准：一般不允许有硅油、氨基化合物、增塑剂。
 

▲ GC测试

GC测试是用来分析无尘布www.dgwsi.com上有机污染物种类和含量的一种方法。

*参考测试标准：在磁头行业，要求Total:＜10ug
 

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